MDPinline是生產(chǎn)集成的高速晶片少子壽命自動(dòng)掃描系統(tǒng)。在一秒鐘內(nèi)完成單晶片形貌測量。

MDPinline是一個(gè)用于定量測量少子壽命的緊湊型高速生產(chǎn)集成自動(dòng)掃描系統(tǒng)。當(dāng)晶片通過傳送裝置移動(dòng)到儀器下面時(shí)，一片晶片的形貌測量在一秒鐘的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行實(shí)時(shí)測量。

MDPinline本身不使用機(jī)械移動(dòng)部件，使得它在連續(xù)操作下也非常可靠。對于每個(gè)單獨(dú)的晶片，完整形貌的獲取提供了新的方法來提高生產(chǎn)成本效益和效率。例如，在不到3小時(shí)內(nèi)獲得的10,000個(gè)晶片形貌的自動(dòng)統(tǒng)計(jì)評估揭示了晶體生長爐的性能以及材料質(zhì)量的微小的細(xì)節(jié)。基于實(shí)時(shí)質(zhì)量和均勻性研究，諸如擴(kuò)散和鈍化之類的處理步驟可以在迄今為止不可能達(dá)到的性能的時(shí)間內(nèi)逐步增加和優(yōu)化。在運(yùn)行生產(chǎn)中，可以立即檢測到處理步驟的任何故障。另一方面，晶片銷售給用戶時(shí)，如果每個(gè)晶片都表現(xiàn)出優(yōu)異的性能，則可以實(shí)現(xiàn)更高的價(jià)格，從而在不到一年的時(shí)間內(nèi)為MDPinline帶來回報(bào)。

優(yōu)勢

• 在不到一秒的時(shí)間內(nèi)，實(shí)現(xiàn)對一個(gè)晶片全電子晶片特性的測量。測量參數(shù)：少子壽命(全形貌)，電阻率(兩行掃描)。
  

• 迄今為止還沒有看到工藝控制、良率和工藝改進(jìn)的效率允許極快地增加新的生產(chǎn)或工藝，因?yàn)閬碜詳?shù)千個(gè)晶片的統(tǒng)計(jì)信息是在非常短的時(shí)間內(nèi)獲得的。
  

• 適合于測量出料或進(jìn)料晶片的材料質(zhì)量，以及在晶片級別內(nèi)識別結(jié)晶問題，例如在光伏行業(yè)。適用于擴(kuò)散工藝的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。