Name: 電漿輔助式化學(xué)氣相沉積設(shè)備
Brand: 其他品牌
Availability: InStock

產(chǎn)品分類

Product Category

沉積系統(tǒng)

便攜式樣品傳送腔體激光沉積系統(tǒng) 原子層沉積設(shè)備

查看全部

相關(guān)文章

沉積系統(tǒng)：精準(zhǔn)構(gòu)筑薄膜“微結(jié)構(gòu)”，賦能半導(dǎo)體與新材料創(chuàng)新? 沉積系統(tǒng)：薄膜材料制備的“精密生長工廠”? 探秘化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)：如何“沉淀”高科技新材料？原子層沉積和磁控濺射的區(qū)別看完本篇你就會對化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)有更多了解光學(xué)顯微鏡工作環(huán)境的選擇

詳細介紹

品牌	其他品牌	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子/電池

電漿輔助式化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD）是一種使用電漿的化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)，可為沉積反應(yīng)提供一些能量。與傳統(tǒng)的CVD方法相比，PECVD可以在較低的溫度下沉積各種薄膜且不會降低薄膜質(zhì)量。

電漿輔助式化學(xué)氣相沉積設(shè)備PECVD比半導(dǎo)體行業(yè)中的其他CVD技術(shù)更廣泛地使用，且可以在較低的工作溫度（低於350°C）下沉積薄膜，並具有不同形狀的均勻沉積與良好的覆蓋率。SYSKEY的系統(tǒng)可以精準(zhǔn)的控制製程氣體與監(jiān)控其數(shù)據(jù)(壓力、載臺溫度)，並提供高品質(zhì)的薄膜。

我們也開發(fā)不同機器但共用零組件，以達到節(jié)省成本。

應(yīng)用領(lǐng)域	腔體
電漿清洗。 SiO_x、SiN_x、a-Si、DLC和其他薄膜。防刮顯示屏。醫(yī)療和商業(yè)產(chǎn)品的耐磨薄膜。封裝，絕緣層。	鋁或不銹鋼腔體或石英腔，佔地面積小。通過使用水冷系統(tǒng)、加熱器或加熱器包來控制腔體溫度。
配置和優(yōu)點	選件
客製化的基板尺寸，最大直徑可達12 寸晶圓。單載片或多載片。優(yōu)異的薄膜均勻度小於±3％。精準(zhǔn)流量控制器，氣體分佈高度均勻，最多可擴充10條氣體管線。穩(wěn)定的溫度控制，可將載盤加熱至400°C。使用電容式耦合電漿（CCP）。	可以與傳送腔、機械手臂和手套箱整合在一起。 RPS用於腔體清潔。發(fā)射光譜儀。高真空傳送系統(tǒng)。

產(chǎn)品咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細地址：
補充說明：
驗證碼：

請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

上一篇：化學(xué)氣相沉積
下一篇：低真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備

在线免费av网I天天操天天色综合I日日日日干I91成人精品观看I久久久久久99精品I五月天久久I夜夜操网站I精品国产激情

電漿輔助式化學(xué)氣相沉積設(shè)備

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：